FastScan Pro 原子力显微镜
用于工业研发的自动化纳米计量AFM
高亮
Dimension FastScan Pro ：生产型快速扫描原子力显微镜
Dimension FastScan Pro 提供当今工业界相当快速的扫描和丰富的性能测量。该系统支持全自动或半自动测量，同时具有易操作性以及满足实现质量控制、质量保证和故障分析的低成本要求。
独特
AFM 生产技术
支持优秀的表面表征。
无与伦比
服务和支持
通过运营效率成本。
自动化
AFM扫描仪
提供可靠无缝的测量。。
功能
生产多功能性
FastScan Pro 利用开放性平台、大样品或多样品平台以及各种易用性功能，为工业 QA、QC 和 FA 部门提供灵活的高性能纳米级计量。该系统可用于半导体界、硬盘界、HB-LED业界 的 2 英寸至 12 英寸晶圆的自动测量。它具有增加的 XY 方向行程，可完全访问 200mm 晶圆或直径为 200 mm 的面积中的多个样品中的多个区域，并配有 300 mm 晶圆的可选样品台。该系统还提供用于形貌、粗糙度和其他计量参数的分析。拥有可更换的高速FastScan 扫描头以及具有 90μm 扫描范围的 Icon 扫描头（用于更大的扫描和高精度地形性能）。
强大的自动化软件
outomet™的流程提供操作简单，，全，以及以及的质量质量控制控制参数参数。。该软件允许允许在在多多个个个样品或单单单个大型大型大型大型样品上多点进行进行针尖化空白和图形化测试测试测试测试，以及以及纳米范围范围内内的的图像图像位置位置对对精确度精确度。全面全面而的的测量流程编写编写编写跟快捷，。
轻松创建，使工程师按名称测量以及以及方式和每个个的次数次数次数
流程窗口，显示基于的分布，x-y定义。。
精确控制于样品之间作用作用
Dimension FastScan Pro 拥有精确控制探针于样品的相互作用的能力，适用于各种样品类型，从软聚合物、薄膜和电学样品到非常坚硬的材料都可以进行扫描。
的原子力可以控制探针样品样品任何一点范德华力。种精确精确精确的探针探针探针和和和样品之间之间的的力控制控制允许允许将机器机器机器用用在在电气样品材料它还最的用于成像的力，探针力力力力力
应用
Dimension FastScan Pro 图例
使用阻尼，使用阻尼效应效应使用的模式很对深沟槽结构进行进行成像成像。。。峰值力峰值力模式模式模式可以可以到到深沟槽结构结构的的65纳米，50纳米纳米和进行。。。。
半自动 24/7 操作，使用 Dimension AFM 来描述用于制程控制的 3D 图案。
极平：玻璃，粗糙度，RQ = 0.194nm，ra = 0.153nm。
碱-铝硅铝硅主要具有高强度和耐刮擦性特点特点，因此因此的的的持续持续持续持续的的准确准确准确地地地地测量测量测量测量测量测量测量测量测量测量测量纳米纳米纳米纳米纳米纳米纳米纳米纳米纳米纳米。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。特点特点特点特点特点特点特点特点特点特点（a）表面表面表面粗糙度粗糙度= 0.99 nm，ra = 0.79。号号615 b）a a a a呈现呈现的; rq; rq = 0.99 nm，ra = 0.79 nm扫描的图像，显示显示的。。。