半导体纳米结构的扫描电镜表征

本网络研讨会将讨论使用扫描电子显微镜（SEM）和能量色散X射线光谱仪对纳米结构半导体材料的定量表征(必威手机客户端EDS)透射和菊池衍射(TKD)技术。

我们将使用FEG-SEM研究多层半导体材料的微观结构和元素组成。这些薄层的晶体学信息有助于预测或提高此类器件的物理、化学、界面和电子性能。然而，它们的晶体学研究具有挑战性，因为这些材料具有复必威手机客户端杂和非均匀的结构，具有超细晶粒尺寸，并且对电子束敏感。在这里，我们介绍了使用透射方向对比成像和SEM映射的优点。通过CPU、SSD和CIGS太阳能电池上的应用示例，我们展示了轴上TKD技术对在纳米尺度上对半导体多层膜进行分形处理。

本网络研讨会将以15分钟的问答环节结束，我们的专家将回答您的问题。

• 对纳米结构材料表征感兴趣的各级SEM用户必威手机客户端
• 对先进分析技术感兴趣的FIB/SEM显微镜

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