用SEM表征半导体的纳米结构

本次网络研讨会将讨论使用扫描电子显微镜(SEM)和能量色散x射线光谱(必威手机客户端EDS)和透射菊池衍射(跆拳道)技术。

我们将利用FEG-SEM研究多层半导体材料的微观结构和元素组成。必威手机客户端这些薄多层膜的晶体学信息对预测或增强这些器件的物理、化学、界面和电子性能是有用的。然而，它们的晶体学研究具有挑战性，因为这些材料具有复杂的异质结构和超细晶粒尺寸，并且对电子束敏感。必威手机客户端在这里，我们提出使用透射定向对比成像和映射与扫描电镜的好处。通过在CPU、SSD和CIGS太阳能电池上的应用实例，我们展示了轴上TKD技术在纳米尺度上表征半导体多层膜的分析能力。

本次网络研讨会将以15分钟的问答环节结束，我们的专家将回答您的问题。

• 各层次的SEM用户都对纳米结构材料的表征感兴趣必威手机客户端
• 对先进的分析技术感兴趣的FIB/SEM显微镜专家

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