语言
Bruker(先前的Bede和Jordan Valley)是半导体工业中数字X射线衍射成像(XRDI)的先驱,以识别导致晶片破损的杀手缺陷,这一直扩展到识别可能影响基材产量的其他基材中的缺陷和设备。Bruker还为Si和SiC基材提供TXRF系统,用于鉴定基材上的金属污染,对于生产线产量至关重要。对于离线检测,Bruker提供SEM和TEM基础解决方案,包括能量分散X射线光谱(EDS),波长分散X射线光谱(WDS)和电子背散射衍射(EBSD)。