使用环形硅漂移探测器:布鲁克XFlash平板四边形快速、准确和精确的量化结果

硅漂移探测器(SDDs)已成为能量色散x射线光谱(EDS)使用扫描电子显微镜(sem)和电子探针微量分析仪(EPMAs)。环形SDDXFlash^®FlatQUAD是一种独特的SDD，插入在极片和样品之间，而不是在SEM的倾斜端口。因此，它有一个大的立体角(1.1 sr)，这通常是100倍大的立体角使用10毫米²的SDD在传统的设置。x射线从四个独立的探测器段收集，信号由四个探测单元并行处理，允许在低死时间下高计数率，导致最大输出计数率超过2,400,000计数每秒(cps)，用于高速绘图和快速光谱采集。此外，这种几何形状最小化阴影影响，因此非常适合分析复杂的地形，三维和光束敏感样品。即使在最低的束流(<10 pA)下，未涂覆的、束流敏感的和非导电的样品也可以在高真空的自然状态下进行研究。

在本次网络研讨会中，我们将展示一些使用XFlash^®FlatQUAD用于快速可靠的定量结果，包括基于标准和自由标准的定量方法。该结果将与使用其他分析技术的已知已发表的结果进行比较。此外，高速绘图的例子将被介绍，如具有高地形的束敏感样品或如何在几分钟内绘制一个完整的薄片。

• 来自各个分析领域的科学家对扫描电镜的EDS技术感兴趣
• 研究人员使用复杂的地形，三维和光束敏感的样品