Bruker's Hochleistungs-eFlashEBSDDetektorserie kann auch mit dem OPTIMUS™ TKD-Detektorkopf konfiguriert werden, der speziell für die beste Probe-Detektor-Geometrie bei der On-Axis Transmissions-Kikuchi-Beugungs-Analyse (TKD) mit dem REM entwickelt wurde. Der Detektorkopf erfasst nicht nur Kikuchi-Beugungsmuster (Patterns) mit unübertroffener Empfindlichkeit, sondern bietet auch den Zugang zu SAED-ähnlichen Mustern (Selected Area Electron Diffraction).
Orientierungs-Maps mit mindestens 2 nm räumlicher Auflösung
Die Position des horizontalen Phosphorschirms unterhalb einer Probe hat zwei wesentliche Vorteile gegenüber der vertikalen Standard-Anordnung:
Das deutlich stärkere Signal ermöglicht die Erfassung von Orientierungs-Maps mit kleinen Blenden und daraus resultierend eine verbesserte räumliche Auflösung. Analysen verschiedener Materialien ergaben eine effektive räumliche Auflösung von 2 nm oder besser bei Verwendung eines Hochleistungs-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops. Auch das Arbeiten bei niedrigen Beschleunigungsspannungen bis 5 kV ist möglich. Dadurch wird die mittlere freie Weglänge reduziert und die Ausbeute des Kikuchi-Beugungssignals erhöht. Dies ist äußerst nützlich bei der Analyse dünner und "leichter" Proben.
Verzerrungen, die军队gnomonische Projektion verursacht了sind ein häufiges Problem der EBSD und wirken sich insbesondere auf die TKD-Analyse mit der Verwendung des vertikalen Phosphorschirms aus. MitOPTIMUS™TKD wird die Mitte des Phosphorschirms exakt mit dem Patternzentrum in Deckung gebracht, wodurch ideale geometrische Bedingungen geschaffen werden, welche sogar die Standard-EBSD-Geometrie übertreffen. Die resultierenden Kikuchi-Pattern weisen nur minimale Verzerrungen auf, die dieBanderkennung und die anschließende Indizierungsgenauigkeit deutlich verbessern.
ARGUS™FSE-Bildgebungssystem
OPTIMUS™TKD ist mit demARGUS™Bildgebungssystem ausgestattet, das brillante Hellfeld- und Dunkelfeld-ähnliche Bilder mit Details bis hinunter in den Nanometer-bereich ermöglicht und das REM praktisch zu einem "Niedrig-kV-TEM" macht. ARGUS™kann verwendet werden, um einzelne Versetzungen und Versetzungs-wände in verformten Materialien anzuzeigen. Die Dunkelfeld-ähnlichen Bilder zeigen 3D-Informationen über die Position und Neigung der Korngrenzenebene.
Einfache Bedienung
JedereFlash Detektorlässt sich auch mit dem OPTIMUS™ TKD-Detektorkopf ausstatten. Der Austausch des Detektorkopfes kann vom geübten Nutzer in nur
10-15 Minuten problemlos durchgeführt werden, so dass jederzeit ein einfacher und schneller Wechsel zwischen EBSD- und TKD-Modus möglich ist, wenn es die Analysenaufgabe erfordert. OPTIMUS™ TKD verfügt über das fortschrittliche Kollisionsschutzsystem von Bruker, welches was das Schadensrisiko deutlich minimiert. Im äußerst unwahrscheinlichen Kollisionsfall fährt der Detektor sofort mit einer Geschwindigkeit von 10 mm/s aus der REM-Kammer zurück. Der OPTIMUS™TKD-Detektorkopf kann problemlos zusammen mit dem TKD Professional Toolkit einschließlich TKD-Probenhalter, der XFlash®EDS-Detektor-serie für simultane TKD- und EDS-Messungen und mit der ESPRIT 2 Analyse-software von Bruker verwendet werden.