AutoMET软件

Bruker的AutoMET™软件为苛刻的生产环境提供高容量、精确的AFM测量。可用于维FastScan和维图标AutoMET独特地将高分辨率AFM成像与快速、自动计量相结合。它为生产、QA/QC或其他大容量测量应用中的关键质量测量提供了卓越的易用性和适应性。

AutoMET使:

• 用户定义的自动纳米尺度测量在用户定义的位置上的数据存储滑块样品和裸片和带图案的晶片高达300毫米
• 光学和AFM图像模式识别，尖端定心，全晶圆或网格映射支持，以及图像放置精度在几十纳米内
• 全面而简单的配方为高级用户编写
• 容易设置校准样品探针和执行校准校正
• 运行Recipe模式，使用预定义的Recipe在数千个样本上轻松地执行复杂的测量

AutoMET包括一个直观和简单的配方编写环境，这使得将复杂的测量程序简化为简单的按钮操作非常容易。所有经验级别的操作人员都可以通过运行预定义的配方，对数千个样品进行详细、准确的测量。