自动软件

Bruker的Automet™软件将大量，精确的AFM测量带到了苛刻的生产环境中。可以用来尺寸快速扫描和尺寸图标系统，自动唯一可以使高分辨率AFM成像与快速自动计量的组合组合。它为生产，QA/QC或其他大量测量应用程序的关键质量测量提供了极大的易用性和适应性。

自动启用：

• 用户定义的自动化纳米级测量在数据存储滑块样品以及裸露和图案的晶圆上的用户定义位置最多300毫米
• 光学和AFM图像模式识别，尖端中心，全磁盘或网格映射支持以及图像分化精度在数十个纳米的内部
• 为高级用户提供全面而简单的食谱写作
• 轻松设置以对齐样品进行探测和执行对齐校正
• 运行食谱模式，使用预定义的食谱轻松地对数千个样品进行复杂的测量

自动启动包括一个直观而简单的配方编写环境，使将复杂的测量例程减少到简单的按钮操作非常容易。所有经验水平的运营商可以通过运行预定义的配方来对数千个样本进行详细的，准确的测量。