原子力显微镜

自动软件

增强维度系统的纳米级自动化

Bruker的Automet™软件为苛刻的生产环境带来了大量,精确的AFM测量。可以用来维度快速扫描维数图标系统,自动汽车独特使高分辨率AFM成像的组合具有快速,自动计量。它为生产,QA / QC或其他大容量测量应用中的关键质量测量提供了卓越的易用性和适应性。

汽车启用:

  • 用户定义的数据存储样本上的用户定义的纳米尺度测量,裸露和图案化的晶片可达300毫米
  • 光学和AFM图像图案识别,尖端定心,全晶片或网格映射支持,以及数十纳米内的图像 - 放置精度
  • 为高级用户综合但简单的食谱写作
  • 轻松设置以将样本对齐并执行对齐校正
  • 运行配方模式以轻松使用预定义的配方对数千个样本进行复杂测量

自动车包括直观和简单的配方写入环境,使其非常容易减少复杂的测量例程,简单,按钮操作。通过运行预定义的食谱,所有体验级别的操作员可以获得有关数千个样本的详细的准确测量。

图A功能了一个配方窗口,显示矩形或方形扫描区域上的用户定义测量位置的网格的布局。文件B有一个配方窗口,用于精确,用户定义的X,Y测量位置的基于晶圆的布局。