原子间力顕微镜

自动AFMソフトウェア

寸法计测向けのナノスケールオートメーション

ブルカーブルカー自动™ソフトウェアソフトウェア,要求の制造に信頼信頼性の高い高い性格性格なななななななな测定测定测定测定环境を提供快速扫描および尺寸图标システムで可能なソフトウェアソフトウェアははは,能能能能能イメージングイメージングイメージングイメージングを计测ででで実现実现実现実现しししししますますますます。。制造制造制造制造,,,品质品质品质品质品质品质品质品质品质保证(qa/qc),,管理管理管理管理,,,な测定,性高い测定结果提供します。

  • 300毫米(300 mm)のベアウェハのののののののユーザー定义位置位置でで,,,ナノスケールナノスケール
  • Afm画像画像认识,センタリングフルウェハーグリッドグリッドのサポート,数数十ナノメートルナノメートル以内の精度精度
  • 上级者対応する的ながらもな作成作成作成
  • サンプルとの合わせ,补正が简単な设定面
  • 事前にれレシピを使用て何千のななサンプル测定を简単简単にに実行実行実行

自动级に直感でなレシピ作成环境含まれており复雑なな测定测定ルーチンルーチンルーチンを简単ななプッシュボタンボタン操作操作にに简単に行うことができことができますますの経験経験レベルレベルレベル実行する,千ものサンプルのでな测定値をことができます。

自动级に,ででなレシピ作成环境がれて,复雑なな测定测定测定ルーチンルーチンをを非常简単简単にに,,なな押し押し操作操作操作変换するますますますますされ実行すること,千ものサンプル详细で正确正确な测定测定値をを得る。

a a図,正方形スキャン领域で定义ののグリッドグリッドベースベースのののレイアウトレイアウトレイアウトををレシピウィンドウレシピウィンドウを备え备え备えてて図図図図図図図図図図図図ははははは,のレイアウト示すを备えてい。。