AutoMET软件

Bruker的AutoMET™软件为苛刻的生产环境带来了高容量、精确的AFM测量。可用于维FastScan和维图标AutoMET独特地实现了高分辨率AFM成像与快速、自动化计量的结合。它为生产、QA/QC或其他高容量测量应用中的关键质量测量提供了非凡的易用性和适应性。

AutoMET使:

• 用户自定义的自动化纳米尺度测量在用户定义的位置上的数据存储滑块样品和裸片和图案晶圆高达300毫米
• 光学和AFM图像模式识别，尖端定心，全晶圆或网格映射支持，以及数十纳米范围内的图像放置精度
• 全面而简单的配方编写高级用户
• 容易设置校准样品探头和执行校准校正
• 运行Recipe模式，可以使用预定义的Recipe轻松地对数千个样本执行复杂的测量

AutoMET包括一个直观和简单的菜谱编写环境，使其非常容易减少复杂的测量程序，以简单的按钮操作。所有经验水平的操作人员都可以通过运行预定义的配方，对数千个样品进行详细、准确的测量。