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Bruker提供分析解决方案,以研究具有EDS(战略)和微X射线荧光(X方法)技术。
当电子激发特别适合于较薄的薄膜(高达数百纳米)和轻元素时,micro XRF可以研究较厚的层和层叠的层。Strategy和XMethod都可以同时确定薄膜的质量覆盖率/厚度和层组成。