化合物半导体的x射线测量

拉德软件

软件,使快速和准确的XRD测量分析

Bruker RADS是业内最可靠的软件,用于模拟和分析来自单晶衬底上外延薄膜结构的高分辨率x射线衍射(HRXRD)数据。它是研发、生产和学术界对简单和复杂结构进行详细分析的首选软件。

RADS软件为用户提供了多种工具,能够实现精确和快速的XRD测量分析。通过自动计算工艺参数,并立即将工艺反馈到生产,RADS软件从头开始设计,以提高工艺和产量结果。这种独特的功能组合使RADS自1991年以来成为领先的过程监控和分析软件。

新功能

  • 主题GUI,允许用户选择程序的外观和感觉(Bede, Jordan Valley和两者的混合)
  • 增加了对粘合SOI衬底的支持
  • 改进了缺陷散射模型,包括镶嵌模型和离子注入引起的随机原子位移的影响
  • 允许两个测量数据集从不同的反射同时拟合使用一个共同的结构模型
  • 包括显示各种参数(如组成)的深度剖面的能力
  • 打印报表可以用HTML、PDF、RTF和各种其他格式创建
  • 改进的批处理能力
  • 支持多核处理器,并能被分配到任何特定的核心/CPU。

规范

  • 采用x射线衍射动力学理论(Takagi-Taupin)进行精确模拟
  • 使用现代处理器上可用的SSE2/3指令进行快速模拟。模拟和装配的运行速度将比v3快x3-4。X在同一台计算机上。
  • 包括专利的数据拟合技术,用于可靠的自动化分析多层结构
  • 使用电子表格样式的层列表(包括超晶格)轻松创建模型结构
  • 允许规范任意成分和应变剖面与层参数方程
  • 层参数链接简化了复杂多层结构的分析
  • 广泛的内置和材料数据库,也可以用户定制必威手机客户端
  • 非001立方材料上的模型外延,如(110)和(111)取向衬底上必威手机客户端的层;也支持巴塞尔平面(c平面)取向六角材料必威手机客户端
  • 模拟现实的仪器条件
  • 复杂的科学绘图和输出能力
  • 支持多种数据文件格式(inc. Jordan Valley, Bede, Bruker, PANalytical)
  • 支持编写符合关系数据库的结果
  • 批量分析多个实验数据文件
  • 提供集成的宏语言和强大的自动化功能
  • 支持Windows XP, Vista和7