化合物半导体的x射线计量

拉德软件

能够实现快速和准确的XRD测量分析的软件

Bruker RADS是业内最值得信赖的模拟和分析单晶衬底上外延薄膜结构高分辨率x射线衍射(HRXRD)数据的软件。它是研发、生产和学术界对简单和复杂结构进行详细分析的首选软件。

RADS软件为用户提供了多种工具,能够实现准确和快速的XRD测量分析。通过自动计算工艺参数,并立即处理反馈到生产中,RADS软件从头开始设计,以改善工艺和良率结果。自1991年以来,这种独特的功能组合使RADS成为领先的过程监测和分析软件。

新功能

  • 主题GUI,允许用户选择程序的外观和感觉(Bede, Jordan Valley和两者的混合)
  • 增加了对粘结SOI基板的支持
  • 增强的缺陷散射模型,包括镶嵌模型和随机原子位移的影响,由于离子注入
  • 允许使用一个共同的结构模型同时拟合来自不同反射的两个测量数据集
  • 包括显示各种参数的深度概况的能力,如组成
  • 可以用HTML、PDF、RTF和其他各种格式创建打印报表
  • 改进的批处理能力
  • 支持多核处理器,并能够分配给任何特定的核心/CPU。

规范

  • 采用x射线衍射动力学理论(Takagi-Taupin)进行精确模拟
  • 使用现代处理器上可用的SSE2/3指令进行快速模拟。模拟和装配将运行大约x3-4比v3快。X在同一台计算机上。
  • 包括专利数据拟合技术,可可靠地自动分析多层结构
  • 使用电子表格样式的层列表(包括超晶格)轻松创建模型结构
  • 允许指定任意成分和应变剖面与层参数方程
  • 层参数连接,简化了复杂多层结构的分析
  • 广泛的内置材料数据库,也可根据用户要求定制必威手机客户端
  • 模型在非001立方材料上的外延,如(110)和(111)取向基片必威手机客户端上的层;也支持巴塞尔平面(c平面)导向的六角形材料必威手机客户端
  • 模拟真实的仪器条件
  • 先进的科学制图和输出能力
  • 支持多种数据文件格式(inc. Jordan Valley, Bede, Bruker, PANalytical)
  • 支持将合适的结果写入关系数据库
  • 批量分析多个实验数据文件
  • 提供集成的宏语言和强大的自动化功能
  • 支持Windows XP, Vista和7