化合物半导体的X射线计量

RADS软件

实现快速准确XRD测量分析的软件

Bruker RADS是业界最可靠的软件,用于模拟和分析单晶衬底上外延薄膜结构的高分辨率X射线衍射(HRXRD)数据。它是研发、生产和学术界对简单和复杂结构进行详细分析的首选软件。

RADS软件为用户提供了多种工具,可实现准确、快速的XRD测量分析。通过自动计算工艺参数,并立即处理反馈给生产,RADS软件从头开始设计,以改进工艺和产量结果。自1991年以来,这种独有的功能组合使RADS成为领先的过程监控和分析软件。

新功能

  • 主题GUI,允许用户选择程序的外观和感觉(Bede、Jordan Valley和两者的混合)
  • 增加了对粘结SOI基板的支撑
  • 增强了缺陷散射模型,包括马赛克模型以及离子注入引起的随机原子位移效应
  • 允许使用公共结构模型同时拟合来自不同反射的两个测量数据集
  • 包括显示各种参数(如合成)的深度剖面的能力
  • 可以以HTML、PDF、RTF和各种其他格式创建打印报告
  • 改进的批处理能力
  • 支持多核处理器,并能够分配给任何特定的核心/CPU。

规格

  • 采用X射线衍射动力学理论(Takagi Taupin)进行精确模拟
  • 使用现代处理器上可用的SSE2/3指令进行快速模拟。在同一台计算机上,模拟和拟合的运行速度将比v3.x快约3-4倍。
  • 包括用于多层结构可靠自动分析的专利数据拟合技术
  • 使用层(包括超晶格)的电子表格样式列表轻松创建模型结构
  • 允许使用层参数方程指定任意成分和应变剖面
  • 简化复杂多层结构分析的层参数链接
  • 广泛的内置和材料数据库,也可以用户自定义必威手机客户端
  • 在非001立方材料上模拟外延,例如(110)和(111)取向衬底必威手机客户端上的层;还支持basel平面(c平面)定向六边形材料
  • 模拟真实的仪器条件
  • 复杂的科学绘图和输出能力
  • 支持多种数据文件格式(包括Jordan Valley、Bede、Bruker、PANalytical)
  • 支持将拟合结果写入关系数据库
  • 多个实验数据文件的批处理分析
  • 提供集成的宏语言和强大的自动化功能
  • 支持Windows XP、Vista和7