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Bruker RADS是业界最可靠的软件,用于模拟和分析单晶衬底上外延薄膜结构的高分辨率X射线衍射(HRXRD)数据。它是研发、生产和学术界对简单和复杂结构进行详细分析的首选软件。
RADS软件为用户提供了多种工具,可实现准确、快速的XRD测量分析。通过自动计算工艺参数,并立即处理反馈给生产,RADS软件从头开始设计,以改进工艺和产量结果。自1991年以来,这种独有的功能组合使RADS成为领先的过程监控和分析软件。