纳米机械测试

二维电容式传感器

结合纳米压痕和纳米划痕测试能力在一个单一的测试头

行业领先的性能

Bruker的二维电容传感器技术可以在单个测试头中实现纳米压痕和纳米划痕测试功能的结合。2D传感器提供超敏感的力和位移测量在法向和横向定量纳米机械和摩擦学表征。在划痕模式下工作,2D传感器可以对单个微结构、界面和超薄膜进行局部摩擦测量。利用二维传感器的倾斜力划痕是一种常用的定量薄膜/基片界面粘附特性的方法。

Bruker的2D传感器在法向和横向利用静电力驱动和电容位移传感传感器技术,以获得最大的测量灵敏度。通过不需要噪声的电动工作台进行横向移动,表面的摩擦学特性可以可靠地在纳米到微米的长度尺度上进行表征。

低k胶片的3D纳米划痕图像,显示了胶片失效的证据。