纳米力学测试

2D电容传感器

单个测试头中的纳米凹痕和纳米刮擦测试功能

行业领先的表现

Bruker的二维电容式传感器技术使纳米凹痕和纳米刮擦测试功能在单个测试头中结合在一起。2D传感器在正常方向和横向方向上提供了超敏感的力和位移测量,以进行定量纳米级的机械和摩擦学表征。2D传感器以刮擦模式运行,可以在单个微观结构,接口和超薄膜上进行局部摩擦测量。利用2D换能器的坡道刮擦是量化膜/底物界面粘附特性的一种常见手段。

Bruker的2D传感器利用静电力驱动和电容性位移传感传感器技术在正常方向和侧向方向上,以实现最大的测量灵敏度。通过不需要嘈杂的电动阶段以进行横向翻译,可以在纳米到微米的长度尺度上可靠地表征表面的摩擦学特性。

低K膜的3D纳米刮擦图像,显示了薄膜失败的证据。