2 d정전용량트랜스듀서

2차力量의원정전용량트랜스듀서기술은단일테스트헤드에서결합된나노들여쓰기및나노스크래치테스트기능을가능하게합니다。2 d트랜스듀서는정량적나노스케일기계및삼비학적특성화를위해정상및측면방향모두에서초감도력및변위측정을제공합니다。스크래치모드에서작동하는2 d트랜스듀서는개별미세구조,인터페이스및초박막에대한지역화된마찰측정을가능하게합니다。2 d트랜스듀서를활용한램프포스스크래치는필름/기질면간접착특성을정량화하는일반적인수단이다。

力量의2 d트랜스듀서는정전기힘작동및정전용량변위감지변환기기술을정상및측면방향모두에서활용하여최대측정감도를보장합니다。측면변환을위해시끄러운전동단계를필요로하지않음으로써표면의마찰학적특성은나노미터에서마이크로미터길이의저울을확실하게특징으로할수있습니다。