二维电容式传感器

布鲁克的二维电容式传感器技术可以在一个测试头中实现纳米压痕和纳米划痕测试功能的结合。该二维传感器可在法向和横向上提供超灵敏的力和位移测量，用于定量纳米级力学和摩擦学表征。在刮痕模式下工作，2D传感器可以对单个微结构、界面和超薄膜进行局部摩擦测量。利用二维传感器进行斜力刻划是量化薄膜/基材界面粘附性能的常用方法。

Bruker的2D传感器在法向和横向均采用静电力驱动和电容位移传感传感器技术，以获得最大的测量灵敏度。通过不需要嘈杂的电动平台进行横向平移，表面的摩擦学特性可以在纳米到微米的长度范围内得到可靠的表征。