二维电容传感器

Bruker的二维电容传感器技术可在单个测试头中实现纳米压痕和纳米裂缝的组合测试功能。2D传感器在法向和横向提供超灵敏的力和位移测量，用于定量纳米级机械和摩擦学特性。2D传感器在划痕模式下工作，能够对单个微结构、界面和超薄薄膜进行局部摩擦测量。利用2D传感器的斜向力划痕是量化薄膜/基底界面粘附性能的常用方法。

Bruker的2D传感器在垂直方向和横向方向均采用静电驱动和电容式位移传感传感器技术，以获得最大的测量灵敏度。由于无需噪音的电动平台进行横向平移，表面的摩擦学性能可以在纳米到微米的长度范围内可靠地表征。