硅浅杂质
浅杂质，如硼和磷，是只需要少量能量的杂质。我们解释了如何使用FT-IR来分析它们。
使用FT-IR来分析Si的浅杂质（例如B，P ...）
FTIR分析对于检测硅中的浅杂质，因此FTIR分析非常敏感和破坏，因此是一种广泛接受的Si质量控制方法。Bruker在这一领域拥有数十年的经验，提供最强大，最新的解决方案。
使用Cryosas低温Si分析仪：
- 优化用于高敏感的低温Si分析的工业环境中的操作，无需低温液体必威东盟体育
- 根据ASTM /半标列完全自动化测量周期和数据评估，包括报告生成
- 单晶Si中的III族和V杂质（B，P，AS，Al，Ga，Sb）的定量降至低PPTA范围
- 同时定量碳和氧气。
使用FT-IR光谱仪：
低温NIR光致发光，用于定量单晶硅的浅杂质（例如B，P），根据ASTM / SEMI MF1389，可获得小于1ppta的检测限。可用液体He Cryostat或用低温脉冲管低温恒温器。