硅中的浅杂质
浅杂质，如硼和磷，是离子化只需要很少能量的杂质。我们解释了如何使用FT-IR分析它们。
使用FT-IR分析硅中的浅杂质（例如B、P…）
FTIR分析对检测硅中的浅层杂质具有高灵敏度和无破坏性，因此是一种广泛接受的硅质量控制方法。Bruker在这一领域拥有数十年的经验，并提供最强大和最新的解决方案。
使用CryoSAS低温硅分析仪：
- 针对工业环境中的操作进行了优化，可在无需低温液体的情况下进行高必威东盟体育灵敏度低温硅分析
- 根据ASTM/SEMI标准进行全自动测量周期和数据评估，包括生成报告
- 低ppta范围内单晶硅中III和V族杂质（B、P、As、Al、Ga、Sb）的定量
- 碳和氧的同时定量。
使用FT-IR光谱仪：
根据ASTM/SEMI MF1389，低温近红外光致发光用于定量单晶硅中的浅杂质（例如B、P），可达到小于1ppta的检测限。可用液体氦低温恒温器或无制冷剂脉冲管低温恒温器。