JV-DX
最新一代用于半导体薄膜分析的x射线计量系统
专为各种薄膜应用
ハイライト
JV-DX
Bruker JV-DX是最新一代用于半导体薄膜分析的x射线计量系统，用于材料研究、工艺开发和质量控制。必威手机客户端该系统具有全自动光源光学，可以在标准XRD、高分辨率XRD (HRXRD)和x射线反射率模式之间切换，无需用户干预。菜谱中的度量是完全自动化的，还可以在半手动模式下执行更深奥的度量。
强劲的5轴
欧拉摇篮
配有完整的300毫米晶圆映射和容量，无论是大的和小的样品
包含多个应用程序
必威手机客户端材料的研究工具
支持薄膜研发，以满足当前和未来的设计需求
前缘
数据分析包
使用我们知名的JV-RADS和JV-REFS软件提供专家数据演示和解释
特長
完整的300mm晶圆映射
该仪器设计用于各种薄膜应用，包括高分辨率摇摆曲线、互反空间映射、x射线反射率、掠入射XRD、相ID、残余应力、薄膜结构和晶粒尺寸分析，以及XRF。
样品台由一个坚固的5轴欧拉支架组成，具有完整的300毫米晶片映射，可用于大样品和小样品。为更小的样本提供多个样本位置，使多个样本的多个测量可以排队并自动执行，即使是不同的测量类型。
サポート
支持
我们如何提供帮助?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系在工具出售后很长一段时间内通过培训和延伸服务持续下去。betway手机客户端下载
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于最大化您的生产力与系统服务和升级，以及应用支持和培训。betway手机客户端下载