红外光谱可用于层厚-测定这类薄膜。对于较小的结构千分尺范围,FTIR显微镜提供极好的结果使可靠的层厚测定成为可能。
这是通过光学透明钻石的反射测量来实现的。这将导致所谓interference-induced边缘。这些都是这是由于光线从表面反射而引起的涂布层和从基材下面涂布。
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简而言之,拉曼光谱是最强大的工具之一吗用于碳同素异形体分析。自然,它是化学蒸汽沉积类金刚石的首选工具。
它允许微分大量的碳类型提供了基本的结构信息,例如2/ sp3.比率。此外,拉曼显微术能够获得激光的拉曼光谱亚微米范围。
对薄层或涂层的分析是工业中常见的工作micro-XRF谱分析。该方法的非破坏性操作和x射线穿透样品并获取表面下材料信息的能力,使该方法对单层或多层分析的目的具有吸引力。
本文讨论的样品分析的特殊挑战是,层(铝)和衬底(硅)都是轻元素,这需要在真空下测量,否则样品和探测器之间的光束路径中的空气会吸收样品发出的低能量辐射。此外,该应用程序使用Auto-Point比较手动和自动分析。结果表明,用该方法可以准确地测定层厚micro-XRF(M4龙卷风),并与扫描电子显微镜对层状断裂边缘的直接测量结果进行了对比。
大多数加工步骤都会引入残余应力,从而影响制造部件的性能。压应力可以设计成金属涂层来抵抗裂纹扩展,而拉应力可以用来提高半导体的导电性。应变材料的原子间距必威手机客户端变化可以通过x射线衍射(XRD)检测到,并通过弹性常数与应力有关。