CONTOURGT-X
满足gr＆r（重复性/再现性），用用和自动方案方案方案
高亮
CONTOURGT-X
CONTOURGT-X三维光学提供测量测量测量测量测量测量测量测量测量测量测量和生产过程控制。该该（Wli）最高分辨率该该系统主要主要系统与与生产界面生产界面生产界面生产界面与与电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动电动平台平台平台平台，，扫扫扫描头的倾斜倾斜倾斜倾斜倾斜质量保证控制而设计，提供提供设计计量能力顶级顶级三维光学精度和
全面
自动化
最快、最简单的纳米级测量。
定制化
生产界面
提供简化的工作流程、自动定位和测量程序。
自校准
激光基准
确保最的计量，重复性和测试。。
功能
适于生产的和可靠性
ContourGT-X融合了布鲁克专利倾斜/俯仰头,专利自校准激光基准系统、图案识别及其他多项专有的干涉创新技术，可提供极其精确的表面计量和量产所需的测试高效率。该系统的自动化配置可在几乎所有生产环境中实现快速优化，组件包括用于提升 X、Y、Z 晶圆定位精度的气垫桌稳定器套件，以及PDU、EMO 和真空系统，以兼容自动取放片拾取头的改进型真空吸盘。
高平台，实现实现分辨像像
CONTOURGT-X XY X X X X Y Y Y和和和和和和和和和和和和和和的的编码运动运动。。。该该该平台平台平台平台平台支持支持支持支持路径路径路径设定设定，提供可靠的自动化。通过直观操纵杆软件软件，使控制控制，使控制
使用简便表面测量和软件软件
布鲁克的粘度ion64® 操作分析软件拥有业界功能最强、最简化的图形用户界面，将智能架构与直观可视化工作流程和广泛用户自定义自动化功能融合在一起，实现快速、全面的数据收集和分析。使用先进生产界面，ContourGT-X 几乎适用于所有生产环境和自动化过程。该界面提供了自定义工作流程、自动定位和选取测量程序的工具。
