Ermöglicht TKD-Mapping在浸入式slinsen/UHR-Modus entsprechender FE-SEMs中的纳米scala

她给了我们纳米探针的细节

在Rasterelektronenmikroskopie (REM) ausgelöst中,einen Wettlauf死于höchste Auflösung的纳米技术的大规模适应性。在Ansatz,嗯最终的räumliche Auflösung zu erreichen,它是磁浸没的Verwendung。在东方运动地图unmöglich中,我们将它浸入水中。在此基础上,通过对磁体的分析和传输菊池模式(TKP) stört。最好的干预措施是:

  • 我们有可能看到我们的眼睛在beschränkt(我们有可能看到“mit Feld”)。
  • Die Kikuchi-Pattern werden durch das Magnetfeld verzert, gedreht and verschoben。

这是一个巨大的信号,最大的10毫米的信号将会在我们的视野中出现。这个人有一个电子产品,他的名字叫电子产品,他的名字叫电子产品Standard-EBSD-Detektor,在恩特fernung von mehr中15 mm的磷酸溶液,在扫描电子显微镜上,erreichen können。死的军队OPTIMUS 2ermoglichte同轴的TKD-Techniklöst dies问题,如果您死于kikuchi -召集您的选择。

Zum zweiten Punkt: Die starken Verzerrungen, Die durch Die Präsenz des Magnetfeldes in den TKPs entstehen, machen eine genaue Banderkennung unmöglich。在德国,我们有一个新的软件功能(专利)名称ESPRIT FIL TKD(全浸没透镜TKD) entwickelt。您可以在自动化制图系统中查阅本手册的vollständig精灵2integriert。

Die Kombination aus FIL TKD- software - option和On-Axis TKD ermöglicht ein korrektes oriententierungmapping, mit high - end fe - rem im ultra - high - resolutic - modus, d.h. im aktivem immersion slinson - modus。

Abb. 1a: Nicht korrigiertes transals - kikuchi - muster (TKP), aufgenome in On-Axis tkd - geometrimit aktivem Magnetfeld (Immersionslinse eingeschaltet)
Abb. 1b: TKP von Abb.1(链接)与Korrektur的FIL-TKD
Abb. 1c:在Abb.1 (Mitte) - TKP在gleichen Korn, aber ohne Magnetfeld, d.h.浸水

在Abb的tkd - ergebnisen中,HW和SW组合的结果和涡旋式柴油机将在2(*)。模具模式-质量图(链接),请访问räumliche Auflösung。我的地图是东方的,是浸没的,在Körner/功能feiner 10 nm deutlich zu erkennen。

Abb 2: unbearbeite on - tkd - mappings des selben bereices eines 20nm Au-Dünnfilm onhne Magnetfeld im analytischer Modus (oben)和mit Magnetfeld im ultrahochauflösendem Modus (unten)。Beide映射wurden mit den gleichen Parametern für Strahlstrom, Beschleunigungsspannung, tcd - detektoreellungen和Schrittgröße (3 nm) aufgenome。它的雷达是100纳米。东方的一切都预示着我们的未来。Die Ergebnisse stammen von Alice Da Silva Fanta von DTU Nanolab在Dänemark。

(*)在定性和定性方面,我们可以根据实际情况,在TKD-Lösung和订单方面,我们可以根据实际情况,来判断。Die TKD-Mappingauflösung和Indizierungsqualität可以中间浸泡-和nicht -浸泡-莫迪相关的REMs我要模型和/或赫斯特勒·劳姆格邦(z. B. Temperatur, Bodenschwingungen, Akustik usw.) varieren。