某些fe - sem在浸泡/UHR模式下实现纳米级TKD映射

最近纳米技术的大规模应用引发了扫描电子显微镜(SEM)的最高分辨率的竞赛。实现最终空间分辨率的一种方法是使用磁浸没透镜。以前，使用浸没透镜使方向映射成为不可能。这是因为透镜产生的磁场干扰了透射菊池模式(Transmission Kikuchi Pattern, TKP)采集和分析过程。干扰有两个主要成分:

• 散射的电子被限制在SEM光轴周围的一个狭窄空间内(见下面的TKP“带场”)。
• 菊地图案被磁场扭曲、旋转和移位。

首先，菊地信号被缩小到一个从SEM光轴扩展到10毫米的区域。这种围绕光轴的电子包含意味着很少有散射电子能达到标准EBSD探测器，其荧光屏通常放置在距离SEM光轴大于15毫米的距离。轴上跆拳道技术支持OPTIMUS 2通过从SEM光轴周围捕获菊池图案来解决这个问题。

其次，tkp中磁场的存在造成了严重的失真，使得精确的波段探测成为不可能。为了纠正扭曲和补偿旋转和移位的TKPs，我们已经开发了一个新的软件功能(正在申请专利)称为ESPRIT FIL TKD(全浸式镜头TKD)。该特征易于校准，并已完全集成在自动地图采集过程中精灵2软件

将FIL TKD特性与轴上TKD特性相结合，使得使用高端fe - sem在超高分辨率模式下进行精确的方位映射成为可能。

在图2(*)所示的TKD结果中，可以清楚地看到这种独特的软硬件组合的最终结果或好处。模式质量图(左)定性地表明，激活浸入式镜头(更清晰的特征)时，物理空间分辨率要高得多。在浸液透镜的定向图中可以清晰地看到大于10 nm的晶粒/特征。