某些fe - sem在浸没/UHR模式下实现纳米尺度TKD映射

最近纳米技术的大规模应用引发了扫描电子显微镜(SEM)最高分辨率的竞赛。一种实现最终空间分辨率的方法是使用磁性浸没透镜。在此之前，浸入式镜头的使用使得定向映射成为不可能。这是因为透镜产生的磁场会干扰透射菊池图案(TKP)的收集和分析过程。干扰有两个主要组成部分:

• 散射的电子被限制在扫描电镜光轴周围的狭窄空间内(见下面的TKP“带场”)。
• 菊池的图案被磁场扭曲、旋转和移动。

首先，菊地信号被减小到一个距离扫描电镜光轴10毫米的区域。电子围绕光轴的这种容纳意味着很少的散射电子将达到一个标准EBSD探测器，通常将其荧光屏放置在距离扫描电镜光轴大于15毫米的距离。轴上跆拳道技术支持OPTIMUS 2通过在SEM光轴周围捕捉菊池图案来解决这个问题。

其次，TKPs中磁场的存在造成了严重的失真，使精确的频带检测变得不可能。为了纠正TKPs中的扭曲和补偿旋转和移位，我们开发了一种新的软件功能(正在申请专利)，称为ESPRIT FIL TKD (Full Immersion Lens TKD)。该特性易于标定，并已完全集成到自动地图采集过程中精灵2软件

FIL TKD特征与轴上TKD的结合，使得高端fe - sem在超高分辨率模式下工作时，即采用浸没透镜主动工作时，能够实现精确的定向映射。

在图2(*)所示的TKD结果中，可以清楚地看到这种独特的HW和SW组合的最终结果或好处。模式质量图(左)定性地表明，当激活沉浸镜头时，物理空间分辨率要好得多(更清晰的特征)。利用浸没透镜获得的定向图中可以清晰地看到小于10 nm的颗粒/特征。