在某些FE SEM的浸没/UHR模式下实现纳米级TKD映射

最近纳米技术的大规模采用引发了一场在扫描电子显微镜（SEM）中争夺最高分辨率的竞赛。实现最终空间分辨率的一种方法是使用磁浸没透镜。以前，使用浸没式透镜无法进行方位映射。这是因为透镜产生的磁场干扰了透射菊池模式（TKP）的收集和分析过程。干扰有两个主要部分：

• 散射电子被限制在SEM光轴周围的狭窄空间内（见下面的TKP“带场”）。
• 菊池图案被磁场扭曲、旋转和移动。

首先，菊池信号被减少到一个从SEM光轴扩展到10毫米的区域。这种围绕光轴的电子包容意味着很少有散射电子能达到标准EBSD探测器通常将其荧光屏放置在距离SEM光轴大于15 mm的位置。轴上TKD由启用的技术擎天柱2通过从SEM光轴周围捕获菊池图案来解决此问题。

第二，TKPs中存在的磁场造成的严重失真，使准确的频带检测变得不可能。为了纠正失真并补偿TKPs中的旋转和移位，我们开发了一种新的软件功能（正在申请专利），称为ESPRIT FIL TKD（全浸式镜头TKD）。该功能易于校准，并已完全集成到车辆的自动地图采集过程中ESPRIT 2软件

FIL TKD功能与轴上TKD的结合，使得在超高分辨率模式下（即浸没透镜处于活动状态）使用高端FE SEM进行精确定位成为可能。

这种独特的硬件和软件选项组合的最终结果或好处在图2（*）所示的TKD结果中清晰可见。图案质量图（左）定性地证明，激活浸入式镜头（更清晰的特征）时，物理空间分辨率要高得多。在浸没透镜激活时获得的取向图中，可以清楚地看到细于10 nm的颗粒/特征。