在某些fe - sem的浸入/UHR模式下实现纳米尺度TKD映射

最近纳米技术的大规模应用引发了扫描电子显微镜(SEM)对最高分辨率的竞争。一种实现终极空间分辨率的方法是使用磁浸没透镜。以前，使用浸没透镜使定位图不可能实现。这是因为镜片产生的磁场干扰了透射菊池图案(TKP)的收集和分析过程。干扰有两个主要成分:

• 散射电子被限制在SEM光轴附近的狭窄空间内(见下面的TKP“带场”)。
• 菊地图案被磁场扭曲、旋转和移位。

首先，将菊池信号缩小到距离SEM光轴10 mm的区域。这种围绕光轴的电子包容意味着很少的散射电子会达到标准EBSD探测器通常将荧光屏放置在距离扫描电子显微镜光轴大于15毫米的地方。轴上跆拳道技术支持OPTIMUS 2通过从SEM光轴周围捕捉菊池图案来解决这个问题。

其次，TKPs中磁场的存在造成了严重的扭曲，使精确的波段检测变得不可能。为了纠正扭曲和补偿TKPs中的旋转和位移，我们开发了一种新的软件功能(正在申请专利)，称为ESPRIT FIL TKD(全浸没透镜TKD)。该特性易于校准，并已完全集成在自动地图采集过程中精灵2软件

filtkd特性和on-axis TKD特性的结合，使得高端fe - sem在超高分辨率模式下(即在浸没透镜处于活动状态时)可以进行精确的方位映射。

在图2(*)所示的TKD结果中，HW和SW这一独特组合的最终结果或好处是显而易见的。模式质量图(左)定性地表明，激活浸没透镜时，物理空间分辨率要高得多(特征更清晰)。在浸没透镜激活后获得的方向图中，可以清晰地看到大于10 nm的颗粒/特征。