Gleichzeitige Erfassung chemischer und kristallographischer Informationen im REM mit einzigartigen On-Axis-Detektoren

Schnellste simultane TKD- und EDS-Messungen

Brukers einzigartigerXFlash^®FlatQUADEDS-Detektor mit einem enormen Raumwinkel von bis zu 1,1 sr kann gleichzeitig mitOPTIMUS 2zur Aufnahme von Mappings, die chemische Informationen und Kristallorientierungsdaten elektronentransparenter Proben enthalten, verwendet werden. Die Aufnahmen erfolgen mit bisher unerreichter räumlicher Auflösung und unübertroffener Geschwindigkeit.

Exakte quantitative EDS-Analysen können mit Methoden durchgeführt werden, die für elektronentransparente Proben entwickelt wurden:

Cliff-Lorimer-Faktor-Methode
Zeta-Faktor-Methode

Kombinierte EDS- und TKD-Messungen eignen sich ideal zur Charakterisierung wenig bekannter Proben, die mehrere kristallographische Phasen, z. B. Ausscheidungen und/oder Einschlüsse, enthalten. Der kombinierte Datensatz kann höchst effizient für die Offline-Phasenidentifizierung und -neuanalyse verwendet werden. Dieser Effizienzgewinn wird durch die Fähigkeit vonESPRIT 2ermöglicht bis zu 60.000 Kikuchi Pattern/Sek. indizieren zu können.

Detektor-Probengeometrie für simultane On-Axis TKD- und EDS-Mapping mit XFlash FlatQUAD EDS-Detektor (oben), OPTIMUS 2-Detektorkopf (unten) und TKD-Probenhalter (Mitte)

XFlash FlatQUAD EDS-Detektor mit vier SDD-Chip-Layout sowie Histogramm zur Variation des Raumwinkels aufgrund des Abstands zwischen SDD-Chips und Probe

Hellfeld-ähnliches Bild einer Oxid-Dispersions-gehärteten (ODS) Stahlprobe; es zeigt Titanoxidpartikel (hellgrau) und Yttrium-reiche Titanoxidpartikel (dunkelgrau) in einer Matrix aus Ferritkörnern. Das Bild wurde in 3 s mit 5 nA Strahlstrom und 20 kV Beschleunigungsspannung aufgenommen.

Pattern Quality-Map einer TKD-Messung, die gleichzeitig mit einem EDS-HyperMap mit einer Geschwindigkeit von 272 Punkten/Sek. durchgeführt wurde. Der Datendurchsatz für diese Messung betrug 1 Mcps.

EDS-HyperMap mit Ti-Verteilung (normalisierte Atom%)

EDS-HyperMap mit Y-Verteilung (normalisierte Masse%)

Abschließ结束Phasenverteilungs-Mapping (TKD-Ergebnisse) nach Offline-Phase-ID und Neuanalyse. Ferritmatrix in rot, Titanoxidpartikel in grün und Yttrium-reiche Titanoxidpartikel in blau dargestellt.

Mapping der Orientierungsverteilung (IPFz) mit entsprechendem Farbschema für jede kristallographische Phase