独自のオンアクシス検出器を用いたSEMでの結晶学的情報と元素情報の同時取得
最速の跆拳道とEDSの同時測定
最大1.1 srの超高立体角を備えた力量独自のXFlash®FlatQUAD EDS検出器はOPTIMUS 2と同時に使用することによって,比類のない空間分解能と速度で電子透過性サンプルから化学および結晶方位データを含むマップを取得できます。
電子透過性試料用に考えられた手法を用いて,正確な定量EDS分析を行うことができます。
クリフ・ロリマー因子法
ゼータ因子法
EDSと跆拳道の組み合わせ測定は,複数の結晶学的相(例えば沈殿および/または含有物)を含むほとんど知られていないサンプルの特性評価に理想的な測定です。結合されたデータセットは,オフラインフェーズの識別と再分析に使用でき,最大60000パターン/秒のインデックス作成するESPRIT2の機能により,大幅な効率向上を実現します。
XFlash FlatQUAD EDS検出器(上),OPTIMUS2検出器ヘッド(下)、跆拳道サンプルホルダー(中央)を使用した同時オンアクシス跆拳道とEDSマッピングの検出器——サンプルの位置関係
4つのSDDチップレイアウトと,SDDチップとサンプル間の距離を持つ固体角度変動を示すヒストグラムを備えたXFlash FlatQUAD EDS検出器
酸化チタン粒子(明るい灰色)とイットリウムが豊富な酸化チタン粒子(ダークグレー)をフェライト粒のマトリックスで示す酸化物分散強化(ODS)鋼サンプルから取得したBF様画的像。画像は5 naプローブ電流と20 kv加速電圧を用いて3 sで取得した。
272年ポイント/秒の速度で,EDSハイパーマップと同時に取得された跆拳道マップのパターン品質マップ表現。この測定のスループットカウント率は,~ 1兆赫であった。
Ti分布を示すEDSハイパーマップ(正規化された原子%
Y分布を示すEDSハイパーマップ(正規化質量%)
オフラインフェーズIDおよび再分析後の最終フェーズ分布マップ(跆拳道結果)。フェライトマトリックスは赤色で示され,酸化チタン粒子は緑色で示され,イットリウムが豊富な酸化チタン粒子は青色で示されている。
各結晶図相の配向分布マップ(IPFz)と対応する着色スキーム