光电发光二极管

HRXRD是测量外延层的良好工具QCVelox-E是LED监控领域最先进的领导者，广泛应用于整个行业。

QCVelox-E可实现全自动、高通量HRXRD测量，以及自动RADS分析并报告结果，使客户能够监控其过程，而无需X射线专家分析数据。可选的SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载可用于完成系统的自动化。

了解图案化蓝宝石衬底（PSS）的纳米尺寸对于下一代材料开发和维持生产质量至关重要。布鲁克氏必威手机客户端三维光学轮廓仪提供快速、准确的PSS特征高度、节距和直径测量。

广泛的自动化功能使操作员能够独立于多个站点进行计量，从而可以很好地理解和控制晶圆上的工艺变化。

此外光学轮廓仪和笔分析器用于表征磷光体层的粗糙度、厚度和形状，磷光体层用于从底层蓝色LED产生白光。这些特性对光转换效率有很大影响，也会影响照明的颜色和均匀性。

由于图案化蓝宝石衬底的间距低于2微米，光学技术无法达到提供有价值的工艺计量所需的分辨率，原子力显微镜（AFM）提供准确的解决方案。他们提供亚纳米分辨率和测量所有必要数据的能力，以控制PSS制造过程。

了解纳米到微米尺度上的元素组成和晶体特性是了解现代光电子器件性能和行为的一项要求。Bruker提供了多种电子显微镜分析仪，用于在SEM和TEM系统上研究这些特性。Bruker的电子显微镜分析仪例如扫描电镜能谱仪和TEM,EBSD,单词和微X射线荧光，允许以高空间分辨率分析纹理（EBSD）和元素分布，低至ppm，也可以在层状材料（微XRF）中进行分析。使用高收集角度设备（如Bruker）可以进行特别快速的分析，如质量控制或大样本区域所需必威手机客户端XFlash®FlatQUAD探测器

红外发射光谱是分析新型红外光源、激光器、LED或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全解析激光模式。时间分辨率低至低ns范围的时间分辨测量可实现单个激光脉冲的采集。利用锁定技术的振幅调制步进扫描提供了记录非常微弱的发射信号的可能性。对于mm或µm范围内的小型发射器，适用于研究分光计的红外显微镜同时为发射显微镜提供极好的横向分辨率和最高灵敏度。

自行开发的红外探测器可使用Bruker FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。单元素探测器可直接适用于研究系列光谱仪的外部光学元件。对于焦平面阵列（FPA）探测器的特性，可使用专用的外部测量模块。