半导体和纳米技术

光电子的领导

布鲁克的计量解决方案为生产监控和产量改善提供准确和可重复的测量。

LED Epi层监控

HRXRD已被广泛应用于薄膜层的测量。的力量QCVelox-E是LED监控领域的先进领导者,广泛应用于整个行业。

QCVelox-E能够完全自动化,高通量HRXRD测量,以及自动拉德分析并报告结果,使客户能够监控他们的过程,而不需要x射线专家分析数据。可选配SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载,完成系统自动化。

半导体基板的常规分析

改进图案化蓝宝石衬底的性能和成品率

了解带图案蓝宝石衬底(PSS)的纳米尺度尺寸对下一代材料开发和保持生产质量至关重要。必威手机客户端力量的三维光学分析器提供快速,准确的测量高度,螺距和直径的PSS特征。

广泛的自动化功能使许多站点的操作员独立计量,从而可以很好地理解和控制晶圆的工艺变化。

此外,光学分析器手写笔分析器用于表征荧光粉层的粗糙度、厚度和形状,这些层用于从底层的蓝色LED中产生白光。这些特性对光转换效率有很大的影响,也会影响照明的颜色和均匀性。

PSS结构的亚纳米计量

由于图案化的蓝宝石衬底的间距低于2微米,其中光学技术无法实现提供有价值的过程计量所需的分辨率,原子力显微镜(AFM)提供精确的解决方案。它们提供亚纳米分辨率和测量所有必要数据的能力,以保持PSS制造过程在控制之下。

光电子器件的晶粒结构与元素分析

理解纳米到微米尺度的元素组成特征和晶体性质是理解现代光电器件性能和行为的必要条件。Bruker提供了各种电子显微镜分析仪来研究SEM和TEM系统的这些性能。布鲁克的电子显微镜分析仪,如EDS对扫描电镜TEMEBSD改进算法Micro-XRF,允许分析纹理(EBSD)和元素分布到ppm的高空间分辨率,也在层状材料(Micro-XRF)。必威手机客户端特别是快速分析,如质量控制或大样本区域的需要,可以使用高收集角度的设备,如布鲁克XFlash®FlatQUAD探测器。

激光和LED发射,电致发光

傅立叶变换红外发射光谱是分析新型红外光源、激光、led或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全解决激光模式。时间分辨率测量,时间分辨率下降到低ns范围,使单激光脉冲的采集。利用锁相技术的调幅阶跃扫描可以记录非常微弱的发射信号。对于mm或μ m范围内的小发射器,适应于光谱仪研究的红外显微镜同时为发射显微镜提供了出色的横向分辨率和最大的灵敏度。

FT-IR检测器测试和表征

自行开发的红外探测器可以用布鲁克FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。单元素探测器可直接适应研究系列光谱仪的外部光学。对于焦平面阵列(FPA)探测器的特性,可以使用专用的外部测量模块。