由于图案蓝宝石衬底的间距低于2微米,光学技术无法达到提供有价值的工艺测量所需的分辨率,原子力显微镜(AFM)提供准确的解决方案。他们提供亚纳米分辨率和测量所有必要数据的能力,以保持PSS制造过程在控制之下。
傅立叶变换红外发射光谱是分析新型红外源、激光、led或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全解决激光模式。时间分辨测量,时间分辨率低到ns范围,可以获得单个激光脉冲。利用锁相技术的调幅阶跃扫描可以记录非常微弱的发射信号。对于mm或µm范围内的小发射体,适用于研究光谱仪的红外显微镜同时为发射显微镜提供极好的横向分辨率和最大的灵敏度。
自主研发的红外探测器可以用Bruker FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。单元素探测器可直接适用于本研究系列光谱仪的外部光学。对于焦平面阵列(FPA)探测器的特性,可以使用专用的外部测量模块。