デュアルソース探查と：au含有エピサンプルサンプルサンプル

μXRFとSEMの組み合わせにより、センチメートル（cm）からミリメートル（mm）からマイクロメートル（μm）以下の複数のスケールでサンプルを分析することができます。したがって、μXRFをSEMに追加することによって、デュアルソースシステムにアップグレード。これは，电子ビームビームビームビームのビームビームビームビームつの励起源起源ががあるあるあるあることことことを意味します。。。いずれいずれいずれのののソースソースももも，，，个别个别个别にににに（i）xrf源源利用利用利用ををのの手法手法手法手法手法のの利点をを利用：xrf源源源源源バックグラウンドグラウンドはははは非常非常非常非常非常非常10ppmまでためためためためためためためためまでまでまでまでの元素浓度（，情报さはるかに大きく大きく。つまり，の下下ににあるある构造构造や元素をを见ることができことができます。例えば，非常非常非常非常（II）（ii）电子电子电子电子て小さいに集中し，非常に高分解能能情报を生成生成生成する

このようにより単一のシステム内内新しいワークフローを作成ようようにになりなりなりましましましましました例えば，，，μμμμμμμμμμたたたをををを使用使用してて，，大きなサンプル，スキャンます。これ，，，，含有粒子含む対象の识别がが可能可能可能にに（（（（（（図図図図図2）高い解像度で解析することが可能になります（図3）。 したがって、このデュアルビームシステムは、大きなスケール（cm~mm）で関連情報を同時に識別できるため、詳細な小さなスケール（mm~μm）での测定效率かつに测定するが可能です。