用于勘探和采矿的双源应用：携带肛周样品

组合微XRF与SEM使得能够在孤立的系统内以多个刻度，从厘米（cm）到毫米（mm）和下面的微米（μm）和下方的厘米（mm）分析。因此，通过将微XRF添加到SEM被转换为双源系统，这意味着有两个激励源，电子束和光子束。源源可以单独使用，或同时使用，生成将使用相同的EDS检测器测量的样本X射线。此外，可以利用每个分析技术的益处：（i）XRF源具有非常低的背景，这意味着可以观察到10ppm（元素和矩阵的元素和矩阵）的元素浓度，以及更大信息深度，这意味着可以看到样品表面下方的结构或元件。例如，即使在非常低的浓度下，也可以检测到表面以下的夹杂物;（ii）电子束可以聚焦到极小的区域并产生极高的分辨率信息。

这种组合现在可以在单个系统中创建新的工作流程。例如，可以快速扫描大型岩石样品，在这种情况下，使用Micro-XRF，从卡琅坪术沉积物中携带肛交杂散。这使得能够识别包括轴承颗粒的感兴趣区域（图1和2）。随后，可以使用电子束（图3）以更高的分辨率分析这些“感兴趣区域”。因此，该双光束系统可以同时识别大规模（cm到mm）的相关信息，以便能够效力和准确地执行详细的小尺度（mm至μm）。