结合微X射线荧光扫描电镜能够在一个单独的系统内以厘米(cm)到毫米(mm)到微米(µm)及以下的多个尺度分析样品。因此,通过将微XRF添加到SEM中,可以将其转换为双源系统,这意味着有两个激发源,电子束和光子束。这两种光源都可以单独使用,也可以同时使用,以生成将使用相同EDS探测器测量的样品X射线。此外,可以利用每种分析技术的优点:(i)XRF源的背景非常低,这意味着可以观察到低于10 ppm的元素浓度(元素和基质相关),以及更大的信息深度,这意味着可以看到样本表面下方的结构或元素。例如,即使在非常低的浓度下,也可以检测到表面以下的夹杂物;(ii)电子束可以聚焦到非常小的区域并产生非常高的分辨率信息。
这样的组合现在可以在单个系统中创建新的工作流。例如,可以使用微型XRF快速扫描大型岩石样品,在这种情况下,可以扫描来自Karangahake浅成热液矿床的含金spcimen。这使得能够识别包括含金颗粒在内的感兴趣区域(图1和图2)。随后,可以使用电子束以更高的分辨率分析这些“感兴趣的区域”(图3)。因此,这种双光束系统可以同时识别大尺度(厘米到毫米)上的相关信息,从而能够高效准确地执行详细的小尺度(毫米到微米)。