组合Micro-XRF带有SEM使潜力可以分析从厘米(CM)到毫米(MM)到微米(µM)及以下单独系统中的多个尺度的样品。因此,通过将Micro-XRF添加到SEM中,将转换为双源系统,这意味着有两个激发源,即电子束和光子束。可以单独或同时使用源来生成将使用相同EDS检测器测量的样品X射线。此外,可以利用每种分析技术的好处:(i)XRF源的背景非常低,这意味着可以观察到元素浓度降低至10 ppm(元素和矩阵依赖性),并且更大得多信息深度,这意味着可以看到样品表面下方的结构或元素。例如,即使在非常低的浓度下,也可以检测到表面以下的夹杂物。(ii)电子束可以集中在极小的面积上,并产生极高的分辨率信息。
现在,这种组合可以在单个系统中创建新的工作流程。例如,可以使用Micro-XRF快速扫描大型岩石样品,在这种情况下,来自Karangahake上皮沉积物的含有Au的Spcimen。这可以识别包括含有Au的晶粒的感兴趣区域(图1和2)。随后,可以使用电子束以更高的分辨率分析这些“感兴趣的领域”(图3)。因此,该双光束系统可以同时识别大规模(CM至mm)以实现详细的小规模(mm至µm)的相关信息。