Quantax Micro-XRF
hochempfindliche elementAnalyse mit minimaler probenvorbereitungung
Hochgeschwindigkeits -Elementverteilungsmessungen -auchübergroßeFlächen
Schichtdickenanalyse
强调
10 ppm
Nachweisgrenze
fürdetektion von spurenelementen durchhöheres信号zu untergrundverhältnis
4 mm/s
Fahrgeschwindigkeit
Die Optionale快速阶段ErmöglichtSchnelle ElementVerteverteilungsanalysenüberGroßeFlächen
1 nm -40 µm
Schichtdickenbereich
DünneSchichtenab 1 nm bis hin zu mehrschichtstrukturen〜40 µm gesamtdicke lassen sich bestimmen
mikro-rfa alsergänzendeanalySeTechnik zur zur klassischen eds-analyse im rem
- Die mikro-röntgenfluoreszenz-Spektroskopie（Micro-Xrf，Im Deutschen auch Mikro-rfa Genannt）Ist eineZerstörungsfreieanalySeTechnikechnikErgänzenzendemegänzendZurkömmlicheneds-analyse-能量分散empersive specteremecper）HiermitlässtSich Die Elementzusammensetzung einer Vielzahl Unbrobannter Proben Bestimmen。Es Lassen SICH不友元概率vonZentimetergrößeBisHin Zu Kleinen partikelproben im Mikrobemenberebereich Analysieren。
- Diehöherenachweisgrenze durch ein deutlich verbessertes signal-zu-untergrundverhältniserlaubt die Analyske von spurenelementen（bis zu10 ppmfürverschiedeneelemente und proben-matrizen）。Zudem Lassen Sich auchhöherenergetischelinienserienbis 40 kevEffektiv Anregen。ZusätzlichErreicht模具Mikro-rfa einedeutlichHöhereInformateStiefe，wodurch Sich strukturen auch weit unterhalb derprobenoberflächeauflächeAuflösenlassen lassen。
- Durch Die Kombination einer Mikrofokus-röntgenröhremit mit einerfokussierendenRöntgenoptiklassen sich kleine sich kleinespheprößenvon30 µmBei Hohem Impulsdurchsatz Erzielen。
- der Optionale piezobasierte“快速阶段” pribentisch，ermöglichthochgeschwindigkeits- element verteverteilteilungsmessungen“ fly on fly” mit einer einer einer maximalen geschwindigkeit von von4 mm/s。Hierdurch Lassen SichElementverteilungsenalysenfürprobenGrößenBis50 x 50毫米Einem Durchlauf（Mehreren Feldern feldernauchgrößer中的Oder）realisieren。dabeiKönnenFür定性分析性Beide Quellen（Elektronen- und Photonenanregung）平行于Betrieben Werden。
- Die Hohe InformationStiefeErmöglicht死亡Charakterisierung von ein- und mehrschichtsystemenenab 1 nm bis zu ~ 40 µmGesamtschichtdicke，是MIT Elektronenanegung AlleineNichtMöglichIst。
Vorteile
Erweitern sie ihreallyysemöglichkeitenam rem durch die die intemation der mikro-rfa和速度
- Doppelstrahlanregung - Nutzung derStärkenjeder einzelnen anregung erweitert das das Analytische spektrum und bietet neue neuemöglichkeitenfürdie die die yecitalCharakterisierung。
- Der Vorhandene Eds-Detektor Kann Zur erfassung der Jeweiligen spektren oder auch der gleichzeitigen erfassung von enektronen und photonen und photonen angeregten angeregten spektrenfür质量分析分析分析kenutzt genutzt werden。Hierdurch Lassen Sich Sowohl Leichte Elemente Als Auch Spurenelemente和Hochenergetische（K-）Linienserien gleichzeitig detektieren。
- Sowohl Xtrace Als Auch快速阶段Sind Nahtlos死于ESPRIT软件Integriert。
- 模具kombinierte eds- und mikro-rfa-quantizierung erlaubt eine umfassendere probencharakterisierung。Hier Werden Die LeichtelementInformationen der elektronenstrahlmikroanalyse mit spurenempfindlichkeit der mikro-rfa kbombiniert。
- gleichzeitiges elektronenstrahl- und mikro-rfa元素图vereint vereint die vorteile beider welten。因此，Lassen Sich Die verteilung Leichter Und Schwerer Elemente Gleichzeitig Darstellen。
- der erweiterte spektralbereichermöglichtneben m- und l-linienserien auch die darstellung hochenergetischer k-linien。diese sind oftmals deutlichwenigerüberlappendunderichtern die ventifizierung komplexer proben。
- Minimale probenvorbereitung - 模具mikro-rfa erfordert keineleitfähigeprobenoberfläche和kein umfangreiches polieren。
- Standardlose und StandardBasierte Quantifizierung sindMöglich。
