电子显微镜分析

Quantax EDS for TEM

能量色散x射线能谱仪用于STEM, TEM和T-SEM

纳米级元素映射

定量元素映射

Quantax EDS for TEM

罗马斯卡多多

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TEM中硅漂移探测器的体验
探测器材料和驱动电必威手机客户端子设计用于快速、精确和可靠的数据采集,不干扰高端TEM性能,即使在原子分辨率。
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凯夫
元素ID和量化的前所未有的上能量限制
具有tem特有的高能量电子,因而具有较高的能量元素谱线进行定量能谱分析
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原子
单个原子ID和原子列映射
使用高立体角XFlash 6T探测器结合高端高亮度冷FEG像差校正STEM在数秒内识别单个原子

纳米尺度上TEM、STEM和SEM (T-SEM)的EDS元素映射

清晰的多功能测量装置和细长的几何形状确保了常规基础上快速可靠的TEM EDS数据。高光谱图像是通过所谓的HyperMaps或光谱图像获得的。每像素的光谱和正确定量分析所需的所有元数据都被保存以供检查和处理。

  • 每种显微镜杆杆型的细长线设计和几何优化确保最大收集和起飞角度。
  • 有助于避免样品倾斜,吸收,阴影和系统峰。
  • 无窗探测器进一步提高了探测效率,特别是在低能区轻元素的k线和高z元素的L-, M-和进一步的线。
  • 默认自动缩回和自定义可确保长度检测器寿命和多功能实验。
  • 自动监测现场和操作实验,如材料加热,实时记录化学变化必威手机客户端
  • 综合的软件套房ESPRIT.有关和离线的数据分析。

优惠青睐

用于和离线TEM EDS的软件

QUANTAX EDS for TEM包括一个灵活透明的分析软件包Esprit.。默认和可调方法允许快速和全面的数据挖掘元素映射,所谓的超插或频谱图像以及定量元素映射的产生。包括标准的基于和标准量化例程,用于光谱,对象,线扫描和元素映射以及基于PCA的相位分析和自动统计秘密分析。

  • 脱机分析软件与个人硬件钥匙和/或局域网选项的学生或实验室网络。
  • 打开透明用户界面:您所看到的是您得到的。
  • 清除SETUP,修改和保存/重新加载EDS数据的量化例程。
  • 电子透明样品的两种定量方法:Cliff-Lorimer-法和zeta - factor -法。
  • 可以计算理论悬崖 - Lorimer因子的任何电压,包括SEM上的低电压(SEM中的TEM),使用大型更新的原子数据库。
  • 使用标准试样轻松进行实验悬崖 - 储层和Zeta因素的软件引导校准。
  • 所有元素的Zeta因素可以仅从现有的悬崖储层器因素的几个元素标准计算。
  • 选择背景模型:电子透明和散装标本的物理模型,以及数学背景计算。
  • 报告生成不同的模板。

aplicaciones.

元素分析在TEM中的应用领域

半导体
从NiSi(Pt)获得的光谱在低x射线能量下的反褶积结果

NISI(PT)-NISI2半导体结构中PT浓度的定量

本应用实例显示了一种Pt合金NiSi薄膜外延生长的EDS数据,以及对NiSi中少量at%的Pt合金的定量分析。NiSi用于纳米尺寸的金属化结构的半导体器件,如mosfet。
分层系统的组合元素映射

分层结构的化学相分析

在不使用先验知识的情况下,对高光谱图像进行化学相检测是非常有利的。Bruker的ESPRIT autopphase基于光谱的主成分分析,通过分析HyperMap自动找到成分相似的样本区域。这个程序的灵敏度是可以调整的。以多层结构的截面为例,对该方法进行了验证。
纳米线的混合元素图

纳米线的化学表征

纳米结构,如纳米线、纳米棒和功能化纳米载具在纳米技术的各种应用中日益受到关注,无论是纳米电子学还是人体药物传递。
石墨烯中的单硅原子

在石墨烯上标识单个原子

不仅是获得单个原子的光谱的最高艺术,而且还可以提供有关特定元素的激励特性的有价值的新信息。
互连结构的高角度环形暗场图像

半导体互连线的化学组成

在常规扫描透射电子显微镜(STEM)上使用30mm2的探测面积的标准能量色散x射线光谱(EDS或EDX)可以在几分钟内提供纳米分辨率的元素映射。条件是,探测器头部足够小(在细线设计中),以尽可能接近样品(高立体角)和尽可能高高于样品(高起飞角)。后者有助于避免阴影和吸收效果。
RAM Microchip元素分布图

半导体RAM Microchip使用SEM(T-SEM)的高分辨率映射

半导体纳米结构与基于X射线的方法的元素分布映射并不总是直接向前。在研究了半导体材料时,纳米级空间分辨率和X射线峰值重叠是共同的挑战。必威手机客户端有时,使用SEM可能是有益的,而不是昂贵的TEM工具和表征时间。